天丰证券：半导体射频电源专题：激荡频波，控势而行！

射频电源：高科技壁垒核心部件。射频电源是一种高频交流电源，可以产生300kHz-300mHz的频率。虽然射频频段很宽，但半导体设备中使用的射频电源的工作频率通常是 2MHz 至 60MHz 之间。核心技术的难点在于参数稳定性、控制精度和阻抗匹配。随着技术的不断发展，市场将逐步向高频、高功率、小型化和能效方向发展。

应用射频电源：

一、半导体：刻蚀、膜沉积、干法清洗、离子注入等。

2）光伏：PECVD、RPD等。

3)面板：TFT阵列、CELL成盒制作等。

半导体射频电源市场：国外龙头企业垄断，市场集中度高。2022年，全球半导体射频电源市场销售额达到7.26亿美元，预计2029年将达到14.57亿美元，年复合增长率（CAGR）11.18%(2023-2029)。2022年，中国市场(含中国台湾省)市场规模为96.6百万美元，约占全球市场的13.31%。2022年，世界第一梯队制造商主要拥有1万台机器和美国优秀仪器（AE）、日本大阪变压器有限公司的市场份额约为52.95%。

如何发展海外半导体射频电源公司：

MKS：为半导体行业提供环形等离子体源的人，为FinFET开发自适应脉冲技术，为一致脉冲提供射频功率。

AE：everest系列射频等离子体发生器更稳定，Navigator更快更准确 II系列射频匹配网络，专有算法PowerInsight应对匹配网络生命周期的不确定性。深入培育全射频传输系统，为各种工艺提供不同的产品匹配方案。

DAIHEN：半导体制造设备的射频发生器于1986年开始生产，内部等离子体评估室用于技术开发（如脉冲输出和频率调整）、产品性能评估和功能改进。

相关标的：英杰电气、爱科赛博、北方华创等。