光刻气体，半导体制造的“血液”（附股）-股票-壹米财经

一，光刻气体，半导体制造的“血液”

很多人对于半导体气体缺乏认识，觉得这个东西没有那么重要。

广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是最重要原材料之一；狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体，依据《战略性新兴产业分类（2018）》在电子专用材料制造的重点产品分类，将电子气体分为了电子特种气体和电子大宗气体。

电子特气几乎每个环节都要用到，且很大程度上决定最终产品性能的好坏，对气体质量要求高；同时所需气体的种类超 50种，因此被称为半导体制造的“血液”。

光刻气是光刻机产生深紫外激光的气体，在腔体内受高压激发后，由于电子跃迁，产生了一定波长的光，不同的光刻气和电压可产生不同波长的光，经过聚合、滤波处理后便形成光刻机的光源，这直接决定了光刻机的分辨率范围。

光刻气大多为混合气，用不同比例的不同气体混合在一起的电子气体混合物。

光刻气根据光刻光源波长的不同而不同。常见光刻气包含Ar/F/Ne混合气，、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne混合气，Ar/Xe/Ne混合气等等。

光刻气大部分为稀有气体，或稀有气体和氟的混合物，这种混合气体在高压受激发后，就会形成等离子体，在这个过程中，由于电子跃迁，会产生固定波长的光线。

据亿渡数据测算，我国电子特气市场规模超400亿元，每年增速近20%。

半导体光刻工艺流程：

二，电子气体产业链

根据SEMI的数据，全球晶圆制造材料中，电子气体占比约为13%，是占比仅次于硅片的半导体材料。

从产业链角度来看，电子气体上游为空气、工业废气、基础化学原料等原材料提供商，气体生产、储存、运输设备商，能源供应商；中游包括砷烷、磷烷、硅烷等电子特种气体，高纯氮气、高纯氢气等用作环境气、保护气的电子大宗气体；下游为以泛半导体领域为核心的集成电路、显示面板、太阳能光伏、LED等高端制造领域。

是全球半导体特种气体主要供应地，冲突或对半导体特种气体供应带来一定的影响。目前国产替代速度比较快。电子特气平均毛利率能达到近 50%，国内企业电子特气毛利率相对较低，约为30%-40%，相较国际巨头有一定差距，未来成长空间广阔。

三，电子气体全球市场份额

之前大家的焦点一直在半导体光刻机，现在是在设备上，主要是一些国产化比较低的领域。之前我们也讲过，这一轮半导体行业走势不是业绩反转，而是国产替代。其实整个半导体材料行业国产化率也是非常低，并且不像其他领域，在高端电子特种气体上，国内企业和国外企业的差距还是很明显的。

上图是国内外特种气体的基本情况，我们先来看左图，从图中我们可以看出，国际特种气体其实主要是被国际四大巨头垄断，分别是德国林德，法国液化空气，日本大阳日酸以及美国空气化工。

右图是国际特气巨头在国内的份额，我们可以看到，也基本上是由这四大公司垄断，这里讲一下，由于这两年米国对我们的制裁，所以说美国空气化工在国内的市占率可能也没有那么大了。现在国内特气主要由日本和德国供给。其中德国主要是由其在中国的合资公司联华林德所供应的，这次德国宣布限制我们化学气体出口大概率也是通过联华林德公司来实现的。

四，国内半导体气体的龙头供应商

由于我们今天主要研究特种气体在半导体行业的应用，所以说我们主要看画红框的部分。（因为特种气体还可以应用于石化，光伏等其他行业）

上图中我们可以看到,国内半导体气体行业企业能打入主流市场的就这么几家：华特气体，金宏气体，南大光电以及雅克科技。

1，主要客户

华特气体的主要客户包括中芯国际，台积电等企业；金宏气体的主要客户包括京东方，三安光电，亨通光电等等，这个主要应用于面板和LED芯片；南大光电的客户主要包括：三安光电，士兰微等等；雅克科技的客户主要包括：中芯国际，长江存储等等。