相关公司：

1)上海微电子相关:

张江高科技:持有上海微电子(国内唯一从事高端光刻机研产销的企业)9.0888%的股权。

上海电气：母公司是上海最大的微电子股东；

东方明珠：持有21.33%股份的子公司上海信息投资间接持有上海微电子股份；

2)上海微电子供应商

苏大维格：公司为上海微电子提供定位光栅产品；

茂莱光学：DUV光学透镜已向上海微电子供应；

海立股份：为上海微电子想关设备提供冷却配套系统，已实现供货；

聚光科技：为上海微电子提供半导体激光退火系统和核心部件；

美埃科技：公司为上海微电子提供EFU、ULPA等产品；

富创精密:已切入上海微电子等国产半导体设备厂；

3)长春光机所相关公司:

奥普光电：余恒光学半导体领域的光栅尺已完成小批量验证。公司是唯一一家上市公司（承担EUV光刻机研发任务，取得了包括核心光源系统在内的突破）。

大理科技，凌云光。