上海微电子，走ASML路线

采用1X千瓦/60Khz的超高重复频率二氧化碳激光打靶。

上海电气：母公司为上海电气控股集团有限公司，其持有上海微电子装备(集团)股份有限公司34.91%的股权，为上海微电子第一大股东

张江高科：持股上海微电子10.779%的股份；

东方明珠：间接持有上海微电子约2%股权；

茂莱光学：DUV光学透镜已供货上海微电子；

富创精密：国产半导体设备零部件龙头，已进入ASML供应链体系，切入上海微电子等国产半导体设备厂；

苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品.