日前，2022年度辽宁省科学技术奖名单正式公布，沈阳芯源微电子设备股份有限公司提报的“集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机研发及产业化”项目喜获辽宁省科技进步一等奖。
该项目攻克了晶圆双面颗粒清洗等多项核心技术，成功研制了国内首台应用于集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机，并在多项核心技术方面实现重大创新，填补国内相关领域技术空白。
项目已在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科等多个客户处通过工艺验证。产品满足集成电路前道芯片制程生产线的工艺要求，性能稳定，技术达到国际先进水平，并获得国内多家Fab厂商的批量重复订单，成功实现国产化发展。
芯源微股票行情：
（诊股日期：2023-08-14）● 短期趋势：强势上涨过程中，可逢低买进，暂不考虑做空。
● 中期趋势：
● 长期趋势：已有92家主力机构披露2023-06-30报告期持股数据，持仓量总计2315.05万股，占流通A股25.00%
综合诊断：芯源微近期的平均成本为152.45元。该公司运营状况良好，多数机构认为该股长期投资价值较高。
